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全自動(dòng)減薄機(jī)GR-1251

產(chǎn)品分類：

自動(dòng)減薄機(jī)

關(guān)鍵詞：

在線詢價(jià)

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源頭廠家，自主研發(fā)，支持定制，一年質(zhì)保，終身售后

產(chǎn)品描述

技術(shù)特點(diǎn)
●支持軸向進(jìn)給(In- Feed)磨削原理;
●設(shè)備配有在線測(cè)量?jī)x單元，精確控制減薄厚度;
●配有具有自主產(chǎn)權(quán)的12英寸超精密空氣主軸;
●粗磨和精磨軌跡重合技術(shù)，有效提高減薄加工穩(wěn)定性，保證加工精度;
●設(shè)備具備擴(kuò)展功能，可與單軸拋光機(jī)、多功能晶圓保護(hù)膜處理設(shè)備組成聯(lián)機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)晶圓減薄到去應(yīng)力技術(shù)的一體化。

性能指標(biāo)

全自動(dòng)減薄機(jī)		GR-1251
最大加工物尺寸		Φ300mm
主軸	主軸數(shù)量	2
	輸出功率	7.5KW
	轉(zhuǎn)速	1000-4000rpm
Z軸	行程	120mm
	進(jìn)給速度	0.00001?0.08mm/s
	最大返回速度	50mm/s
	分辨率	0.1μm
承片臺(tái)數(shù)量		3
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速		0-300rpm
減薄精度	片內(nèi)厚度偏差	<3μm
	片間厚度偏差	<±3μm
	表面粗糙度Ra	<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
測(cè)量?jī)x	測(cè)量范圍	0-1800μm
	分辨率	0.1μm
	重復(fù)精度	±0.5μm
其他規(guī)格	外形尺寸(WxDxH)	1445mmx3330mmx1895mm
其他規(guī)格	設(shè)備重量	≈5000 kg